小松电子KOMATSU超纯水生产设备KE0119 超纯水生产设备KE0119，KE0130，KE0129，KE0128，KE0126

小松电子KOMATSU污染物检测单元ECB60MH2 污染物检测单元ECB60MH2，UV涂层验证单元ECUV60MH2，尖笔金KEC20，X射线观察计数器

激光输送机LMC06MP小松电子KOMATSU 激光打标机LMK08M，激光输送机LMC06MP

中间输送机EC6OLC小松电子KOMATSU 中间输送机EC6OLC，检查输送机EI60L，冷却输送机EC90LF，降溅输送机ED150M，橫移器EM51M，90度车床ETL90，基材翻转器EF100M，分拣输送机PDT-SBD(D)，双输送机PDC- 60D

带干燥功能的中间储料器ESS10MCW小松电子KOMATSU 带干燥功能的中间储料器ESS10MCW，带烘干功能的输送机EW130M，带烘干功能的储物单元EUS22MCW