
Union光学HISOMETⅡ高精度非接触步距测量机
Union光学HISOMETⅡ高精度非接触步距测量机
HISOMETⅡ高精度非接触步距测量机
只需对准目标标记图像,即可轻松准确地进行高度、深度、台阶等 Z 轴测量。
Hisomet II 系列是一种使用光学焦点位置检测方法的非接触式步进测量显微镜。通过采用 Precise Focus Unit,任何人都可以轻松地进行高度、深度、台阶等的高精度测量,同时只需对齐投影目标标记图像顶部和底部的垂直线即可观察测量点的表面状况. 这将是可能的。由于无需担心变形、凹痕、划痕等问题,适用于测量 IC 和精密机械零件等电子零件。
镜子/ | 垂直可动范围 | 粗140mm,细10mm或25mm |
可观察的高度 | 150mm | |
落射照明 | 目标标记(从 5 种类型中选择)内置照明、无级音量调光、 | |
透射照明 | 远心照明,无级音量调光, | |
Z轴测量范围 | 10mm 或 25mm(取决于 Z 轴刻度选择) | |
Z轴测量精度 | 范围 ≤ 1 μm(0 至 10 mm 规格),范围 ≤ 2 μm(0 至 25 mm 规格) | |
桶 | 直立三目 | 20°俯仰角,正像,护眼调节范围54-75mm,带C接口 |
物镜安放 | 带4个孔 | 最多可安装 4 个物镜 |
物镜 | PL/PLLWD/ | 无限远校正物镜(∞) 3・5・10・20・40・50・100× |
目镜 | NWF10X | 10 倍放大倍率,16 个视野,包括偏心实线十字线 |
阶段 | 移动量(XY) | 50×50・100×50・100×100・150×150・200×100・ |
测量精度 | 两者 XY:(4+0.02L) μm L:测量长度(mm) | |
选项 | 防震台、照相机、显示器、运算器、测量软件、 |