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Union光学EMA-400台式面罩对准器打印机
Union光学EMA-400台式面罩对准器打印机
EMA-400 台式面罩对准器紧凑、高性能、低成本的桌面曝光系统，非常适合研发。该产品是一款节省空间、易于操作、高性能、低成本的掩模对准器，非常适合大学和企业实验室使用。该产品在同类产品中采用双物镜显微镜和积分镜头（照明系统），可实现高精度对准和打印。
面罩尺寸 | 5 英寸 |
晶圆尺寸 | φ4英寸 |
曝光照明 | 250W超高压汞灯 |
光学系统 积分器透镜系统 | |
照度不均度±5%以下 | |
照度 20mW/cm2 (405nm) | |
有效曝光范围 φ100mm | |
曝光：由数字定时器驱动的旋转螺线管 | |
曝光模式 | 软接触，硬接触 |
解决 | 2 μm（用于硬接触） |
对齐范围 | 双物镜显微镜 |
10x 物镜 x 2 (NA0.15 WD30mm) | |
物距 15 至 75mm | |
目镜 NWF10×（视场数 18） | |
整体放大倍数 100x | |
晶圆台 | XY平台行程±5mm |
θ旋转行程±5° | |
Z轴行程 0～4mm | |
对齐方式 | 通过移动晶圆台手动对准 |
对准精度 | ±3μm |
安装尺寸 | 735(W)×490(D)×605(H)mm |
安装重量 | 约90公斤 |
公用事业 | 电源 AC100V 15A 50/60Hz |
真空度（压力）21.3kPa（大气压-80kPa） | |
N²气体或干燥空气（压力）0.2MPa以上 |
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