东京计装UCUF-02M液体微小流量超声波流量计

TOKYOKEISO东京计装UCUF-02M液体微小流量超声波流量计

TOKYOKEISO东京计装UCUF-02M液体微小流量超声波流量计

液体微小流量超声波流量计UCUF-02M，SFC-010L，高温液体用小口径超声波流量计UCUF-04MT，SFC-010T

产品介绍

UCUF-02M/SFC-010L是液体用超声波流量计。高精度测量纯水、超纯水、各种化学品等的微小流量。测量管的直径为 2.5 mm，涵盖了传统 UCUF 型超声波流量计难以测量的广泛微小流量范围。所有接液部件均采用半导体行业用PFA制成，具有理想的清洁结构，没有移动部件，也没有容易积液的密封部件，非常适合半导体制造设备等要求高清洁度的工艺.流量计的入口和出口是标准尺寸的管子，可以连接到各种 PFA 接头。

特征

小口径
超声波流量计成功地测量了内径为φ2.5mm的管道中超声波的传播，而这种管道很难测量超声波的传播。

分钟流量
最小满量程设置范围：0 至 10 mL/min

电磁兼容标准：EN61326-1

符合 RoHS 标准

测量运动粘度高达 40 mm²/s 的高粘度流体

具有理想清洁结构的探测器

耐腐蚀且易于安装

准确度：示值的±1%以内（流速25mL/min以上时）

主要用途

半导体制造过程中纯水和超纯水的流量测量

各种药液注入工艺的流量测量

强腐蚀性液体的流量测量

CMP 浆料流量测量

其他中小口径过程液体流量测量

适用于清洗设备和 CMP 设备的流量测量和控制

UCUF-04MT型高温超声波流量计是UCUF系列超声波流量计的改进版本，在测量超纯水和各种化学液体的小流量方面具有良好的记录。所有接液部件均采用特级 PFA 模压产品制成，没有活动部件，也没有 O 形圈等容易积液的机械密封。由于其理想的清洁结构，该流量计非常适用于要求清洁度的过程，例如半导体制造设备。该转换器是薄型 DIN 导轨安装型。通过采用数字信号处理器（DSP）等电子技术，显着降低了流体中气泡的影响，这是半导体工艺、化学液体工艺等中的一个问题。此外，通过提高时间分辨率和加快信号处理速度，与传统产品相比，低流量范围内的测量稳定性得到了提高。

特征

节省能源和空间

SFC-010T 转换器是传统转换器的纤薄版本。

高速计算

SFC-010T 具有 10 ms 的高速采样处理。

大大提高了抗气泡性

如果流体中含有气泡，超声波的传播将受到阻碍，流量测量将无法进行。凭借丰富的现场经验和DSP信号处理技术，我们成功地检查了接收到的波形，检测出气泡的影响，将其排除在流量计算之外，消除了因气泡影响导致的异常输出。

符合标准

CE（符合 EMC 指令 IEC61326-1：2006）
符合 RoHS

探测器

兼容 180°C 的流体温度。
可以测量高达 40.0 [mm²/s] 的高粘度流体。
具有理想清洁结构的检测器。
耐腐蚀且易于安装。

转换器功能

零位检查功能：通过在测量前执行零位检查，可以在被测流体的条件下开始测量。
参数设置：各种参数可通过专用配置软件进行设置。（另需RS-485通讯转换器。）
流量显示：配备7段红色LED（4位）显示器，显示流量和状态。

主要用途

半导体制造过程中的高温化学液体流量测量

各种化学供液过程的流量测量（需要测量的化学液体请提前联系我们）

分钟流量测量