控制器HM5000东京计装TOKYOKEISO微型转换器

控制器HM5000东京计装TOKYOKEISO微型转换器

控制器HM5000东京计装TOKYOKEISO微型转换器

热式质量流量计TC-1000，TC-2000，微型转换器TM-1400，TM3000，控制器HM1000，HM5000

产品介绍

TC-1000/2000是一种质量流量控制器，结合了气体的热式质量流量计和控制阀。一般用TC-1000，高压用TC-2000。不受压力和温度变化影响的质量流量测量，可高精度控制各种气体的流量。

特征

确保各种气体的恒定流量

结合质量流量计实现两种气体的比例混合

各种半导体制造工艺

用于各种分析仪器

腐蚀性气体管线的流量控制

用于新材料器件的研发

TM-1400是与TC-1000、TC-2000、TC-3000、EP-TC-1000/2000V系列质量流量控制器配套使用的专用转换器。
配备质量流量控制器电源，瞬时流量刻度显示，流量设定功能，外接/手动设定切换。
集成常规独立功能，节省空间，简化安装工作。

特征

紧凑（DIN72方形）、轻量且节省空间

标配瞬时流量显示、瞬时流量输出、流量设定功能等过程管理和控制所需的功能。

所有配置参数都可以从前面板轻松设置

TM3000微型转换器单元是与TF-900、TF-1000、TF-5000、TF-6000、(H-)EP-TF-5300系列质量流量计配套使用的专用转换器。
DIN72方形外壳标配瞬时流量显示/再输出、积分值显示、积分脉冲输出、上下限2点报警输出功能、RS-485通讯功能、检测器驱动电源。可用于掌握总流量、监视异常流量等广泛用途。

HM1000是一款气体质量流量计。有两种类型：低价型和通用型。

特征

流量范围广

支持最小 0 至 5 mL/min (nor) 和 0 至 20 L/min (nor) 的广泛范围

高精准度

±1.5% FS (通用型)

组合丰富，周边设备齐全

提供电源装置、数字指示器和设定装置（仅使用控制器）。易于安装和接线。

负担得起的经济价格

应用

一般工业用途

各种分析仪器

气体恒流控制

气体混合分流系统

HM5000是一款气体质量流量计。有通用型和高性能型两种，可根据用途和目的选择。

特征

流量范围广

最小 0.5mL/min(nor) 和 0.400L/min(nor) 的广泛范围

高精准度

±1%FS（高性能型）

通过混合IC提高可靠性和小型化

功能可以通过选项升级

软启动功能（仅限常闭型）
输出信号1.5VDC

应用

一般工业过程

各种化学分析

半导体制造工艺

气体恒流量控制、混合控制

设备内置