黑田精工Nanometro® TT 表面形状测量装置

KURODA黑田精工Nanometro® TT 表面形状测量装置

KURODA黑田精工Nanometro® TT 表面形状测量装置

超精密表面形状测量装置，Nanometro® TT 系列，Nanometro® 300PT，超精密平面度测量装置SF-640M，Nanometro® FR系列

产品介绍

NanoMetro TT系列是垂直旋转/边缘夹持型晶圆平整度测量装置。最小边缘排除为 1mm，并且可以使用盒到盒进行高精度自动测量。此外，评估项目符合SEMI标准。

Nanometro® 300PT

用于成膜过程控制和夹紧过程平面度控制

水平旋转、真空吸盘式φ300mm晶圆表面形状检查装置。

最小边缘排除为 1mm。可以逐盒进行 SORI、平面度等高精度自动测量。

Nanometro® F 系列

高精度测量晶圆、FPD玻璃基板等的表面形状。

采用高刚性的高精度空气平台，可高精度测量晶圆、FPD玻璃基板、大型陶瓷平台、精密工作台等大型元件的表面形状。通过简单的操作即可输出从表面形状分析评价到粗糙度评价等各种数据。

“超精密平面度测量装置SF-640M"是作为精密平面磨床加工的模具等工件的精度评价系统而开发的。本机应用了作为本公司的硅晶片用超精密测量装置的「纳米Metro」的技术和经验技术，使平面和边缘的高精度的评价成为可能，用鸟瞰图和断面图，等高线等各种各样的形式评价平面形状。

Nanometro® FR 系列

陶瓷板等平面度的高精度测量

配备旋转气动工作台，可测量直径达 1000mm 的圆盘表面形状，例如用于晶圆抛光的陶瓷板和研磨台。我们提供支持各种测量的软件，包括用于详细评估的同心测量和用于粗略评估的径向测量。