AP-110R压力控制器MEGATORR

AP-110R压力控制器MEGATORR

AP-110R压力控制器MEGATORR

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产品介绍

非加热槽阀

通过将阀体部分设置为0～90°可变，实现真空压力控制的节流（蝶形）阀。可以高速响应和高再现性地控制各种真空腔室（蚀刻/CVD装置等）的压力。通过与AP系列控制器/电容式压力计配合使用，可以在半导体等过程中实现高速响应和高再现性的真空压力控制。

自加热型开槽阀

Megatorr独自技术的自加热型开槽阀，是在凸缘夹入三明治状的加热器，另外阀体也埋入加热器的自加热型。

支持高达200℃，温度均匀性优异，抑制沉积物，大幅提高维护性和生产性。

广域阀门

在传统的真空压力控制中，由于工艺的多样化，压力控制范围也呈现出多样化的趋势，特别是在低真空（高压力）下的压力控制需求不断增加。阀门加热温度也由于工艺气体的多样化，要求更高的温度。为了满足这一需求，我们开发了这款广域阀门。

广泛的pressure控制范围：可以在101.33kPa（大气压）至10Pa以下（760Torr至70mTorr以下）进行控制，并且可以加热到200℃。

压力控制器(AP430)

AP系列是与电容式压力计（绝对压力真空计）、旋塞阀组合使用的压力控制器。可从自适应/PID/混合三种控制方式中选择控制方法，确保对半导体/FPD/太阳能电池等制造设备所需的高速响应、高再现性的真空压力控制进行可靠控制。也可以通过前面板进行设置，因此操作非常简单。此外，由于获得了CE标志和RoHS认证，该产品在全球各种产业的量产设备中得到了广泛使用。