YAMASHITA山下电装表面缺陷检查装置

YAMASHITA山下电装表面缺陷检查装置

YAMASHITA山下电装表面缺陷检查装置

表面缺陷检查装置，高倍率表面缺陷检查装置

产品介绍

表面缺陷检查装置

应用自古以来传承的魔镜原理，以超高灵敏度即时检查镜面平面基板表面状态的装置，所有的硅晶圆制造商都在使用。检查是非接触、非破坏性的，并且光学系统无需维护。

选项中，可以增加表面缺陷的自动判定图像处理、自动传送机构、图像记忆、图像打印等功能。

瞬间表达整体表面状态。

光学系对应于1类班级。

光学系是免维护的。

根据检查内容，可以调整检测灵敏度。

高倍率表面缺陷检查装置

YIS系列的高倍率检查装置，将视野10mm显示在屏幕上。

特别适用于Epilight处理后产生的滑移线的检查。此外，也适用于硬盘、光学研磨部件的表面检查。

其检测灵敏度相当于显微镜的50倍。

缺陷检查（Defect inspection）是数字图像信号处理技术，通过能量束照射检测对象并分析反射/散射信号强度，当信号超过基于噪声max值设定的阈值时判定为缺陷 。该方法根据图案密度自动设定判定区域，流程包含制作多方向扫描图像数据、生成宽度图像数据、提取缺陷尺寸数据及综合判定缺陷。

该技术采用同轴反射与斜入射照明协同模式，通过图像采集装置获取被检物体表面数字图像。其硬件系统由客户计算机、数据库及主计算机通过通信线路构成，分别承担图像获取、数据存储和缺陷分析功能。检测装置可集成LED光源、工业相机及光学镜头，结合双边滤波、Canny边缘检测等算法实现降噪与特征提取。

早期缺陷检测主要依赖光学显微镜与人工目视检测。随着技术进步，自动化光学检测系统逐渐采用激光扫描与X射线成像技术。近年来深度学习技术被引入工业检测领域，通过卷积神经网络、目标检测算法实现端到端的缺陷识别 [7-8]，同时脉冲红外热成像与AI结合的方案扩展了微观缺陷检测能力