YUTAKA集成用压力控制机L12系列

YUTAKA集成用压力控制机L12系列

YUTAKA集成用压力控制机L12系列

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产品介绍

L12系列

本器L12系列是根据1.125英寸SEMI规格设计的压力调节器。

 集积化气体供应系统用1.125英寸、1.5英寸的W密封、C密封。

 高流量和真空规格以及面部密封接口类型也包含在内。

L18H系列

本器L18H系列是符合1.5英寸SEMI规格的块状压力调节器，专为装置制造商的集成气体供应系统设计的产品。此外，作为L18产品的后继产品，其流量特性性能得到了大幅提升。

本体焊接接头规格也非常适合阀箱的节省空间用途。

从前制L18系列中释放约2倍的流量（面间尺寸相同）

隔膜外部密封采用金属密封。

L20系列

本器L20系列是为高压型半导体工艺制造气体设计的产品，其基本结构采用外部金属密封和焊接接头规格，具有出色的外部泄漏和颗粒性能。此外，为了能够对应多种高纯度气体，我们提供了丰富的选项，非常适合用于气瓶柜。