SAKAGUCHI坂口电热平面加热装置Ex-Laser

SAKAGUCHI坂口电热平面加热装置Ex-Laser

SAKAGUCHI坂口电热平面加热装置Ex-Laser

多功能激光平面瞬间加热装置EXL-CT-010-DS55，激光平面加热装置ELL-CT-050-FC13，桌面型激光平面加热装置Ex-Laser，极简激光氢退火装置

产品介绍

ExLASER® 是一款多功能激光平面瞬间加热装置。

特点

可实现超高速的升温降温

2英寸基板一次性均匀加热

仅可对被加热对象进行直接加热

可实现与工艺相匹配的温度控制

在不加热氛围的情况下实现节能

用途示例

MBE装置的基板加热

晶圆退火（碳化硅SiC、砷化镓GaAS等）

可对多层结构器件的表层进行退火（适用于微细化器件）

激光平面加热装置“X-Laser"实现紧凑设计与小面积加热的“Light"全新登场！

特点

相比传统的ExLASER，设计更紧凑。

实现小面积（φ0.5英寸）单次加热。

宽型置物架一体型。带脚轮可移动。

操作也很简单。

与传统机一样，实现超高速的升温降温。

仅对被加热对象物进行直接加热。不会加热周围环境。

卓上型 ExLASER®(エックス・レーザー)

先进的加热系统“激光平面瞬间加热装置ExLASER®(Ex-Laser)"推出了桌面型。 凭借其紧凑的设计，可用于研究、测试等各种场景。

特点

卓上型尺寸的紧凑设计

由于加热部和控制部是一体化的，因此可以进行台面测试。

由于采用激光加热，即使在空气中也能直接加热。

实现低功耗高功率密度（※）

如果需要真空加热，可以选择加装腔体。

极简激光氢退火装置

＜通过原子级平滑化和圆角控制硅微结构，实现MEMS器件在各种领域和应用中的高性能与高可靠性！＞

我们利用东北大学金森义明教授发明的Atomic-Antialiasing Annealing (AAA) 技术，通过氢气氛退火实现立体结构的平滑化和圆角控制的新技术，通过H30至R2年度的Sapo-in项目，与东北大学、产业技术综合研究所及Minimal Fab推进机构进行了共同开发并成功产品化。

特点

φ12.5mm晶圆（单片处理）

紧凑的机箱（宽度约30cm）

不需要洁净室

低功耗（额定AC100V 10A）

超高真空対応（5 × 10 -5 Pa 以下）

急速升降温（1100℃，2.5秒）

稳定的温度控制（1100℃±0.5℃）

均匀温度分布（波动（σ/Ave.）0.5%）