液体材料气化装置MV-2000堀场HORIBA

液体材料气化装置MV-2000堀场HORIBA

液体材料气化装置MV-2000堀场HORIBA

液体材料气化装置MV-2000，紧凑型直接注入装置VC-1420，紧凑型加热装置LSC系列，大流量蒸汽发生器LE系列，脉冲喷射气化装置VAPBOX 系列

产品介绍

液体材料气化装置MV-2000

这是一个用于气化（气化）纯水和液体材料的系统。通过使用龙卷风流方式实现高效气化，从而在低温下实现稳定气化。作为在半导体工艺中使用的“液体材料：High-k材料等"的稳定气化系统，这是一个最佳型号。通过设置载体气体控制用质量流量控制器和液体材料的流量测量用质量流量计，完成高效气化系统。

特征

采用龙卷风流方式实现稳定气化　

通过高效气化方式，在低温下实现稳定气化。

即使在容易热分解的液体材料中，气化性能也有所提高。

采用龙卷风流方式的大流量气化

通过高效气化方式，即使在与公司传统产品相同的温度条件下也能实现大流量气化。

通过相同的占地面积实现大流量化，无需新的布局变更。

紧凑型气化系统得以构建，理想的布局设计成为可能

RoHS指令対応

紧凑型直接注入装置VC-1420

非载体型的紧凑型直接喷射系统。通过与高温耐受的的质量流量计结合，可以构建一个无需载体气体即可瞬间气化液体材料的紧凑型系统。

在系统构成上，作为基本构成，包括用于液体材料流量测量的“液体质量流量计"或用于气化气体流量测量的“高温用质量流量计"以及气化系统“VC"，根据客户的应用需求，我们将对系统进行升级，添加阀门、过滤器、加热器等设备。

紧凑型加热装置LSC系列

是以纯水为首的各种各样的液体材料气化，控制任意的流量供给的系统。从微小流量到大流量，可以稳定气化。发生气化时也将液体材料向气化罐供给，可以长时间连续发生。

大流量蒸汽发生器LE系列

这是一个用铝合金铸造的具有高汽化效率的大流量蒸汽发生器，配有流路配管和加热器。