堀场HORIBA微型压力控制装置GR-511F

堀场HORIBA微型压力控制装置GR-511F

堀场HORIBA微型压力控制装置GR-511F

微型压力控制装置GR-511F，GR-312F，GR-314F，GR-317F，GR-317F-EPV，数字自动压力调节器UR-Z700系列，UR-Z712MO (-B)，UR-Z712MC (-B)，UR-Z714MO (-B)，UR-Z714MC (-B)，UR-Z717MO (-B)，UR-Z717MC (-B)，UR-Z722MO (-B)，UR-Z722MC (-B)，UR-Z724MO (-B)，UR- Z724MC (-B)，UR-Z727MO (-B)，UR-Z727MC (-B)，UR-Z732MO (-B)，UR-Z732MC (-B)，UR-Z734MO (-B)，UR-Z734MC (-B)，UR-Z737MO (-B)，UR-Z737MC (-B)，压电阀PV-1000，PV-2000，排气压力控制器EC-5104，EC-5105，EC-5202

产品介绍

GR-300系列能够稳定且高精度地控制晶圆背面温度所需的氦气和氩气等传热气体的压力。它配备了高速、高分解的压电阀和质量流量传感器，不仅能够准确且稳定地进行微差压控制，还能够进行流量计量。

特征

正确・稳定供应

搭载质量流量传感器

搭载广泛应用于质量流量控制器的质量流量传感器，能够以与材料气体供应过程相同的精度进行实际流量的监测。

等同于质量流量控制器的尺寸

由于与质量流量控制器具有相同的尺寸和接口，因此可以进行类似的的设计和施工。

符合RoHS指令

数字自动压力调节器

高精度压力传感器、采用高分辨率・高速响应的压电阀的数字控制回路的自动压力调节器。可以通过各种外部信号进行远程操作，自动调整压力。

接入气体部分采用全金属，死体积极少，因此非常适合腐蚀性气体或低蒸汽压气体等。

压电阀

这是利用外部机器的控制信号来控制气体流量或压力的高速响应阀门。采用金属隔膜和金属O形环。接头部分为全金属结构，符合超清洁要求。不仅可以控制气体，还可以控制液体的流体系统。

EC 系列

排气压力控制器

这是一个用于将腔室内压力控制在任意值的排气压力控制器。通过高分解能的步进电机和蝶阀，实现了高速响应和高分解能的性能。