堀场HORIBA隔膜式真空计VG-211S

堀场HORIBA隔膜式真空计VG-211S

堀场HORIBA隔膜式真空计VG-211S

电容式电流计，隔膜式真空计VG-211S，VG-221S，VG-221，VG-521，VG-527

产品介绍

电容式压力计 隔膜式真空计

在制造过程中，压力测量是半导体、平板显示器、太阳能电池板、硬盘、涂层等众多产业中的技术。电容式压力传感器通过测量隔膜（称为膜片）两侧压力差引起的位移量，并将其转换为静电容量，从而计算出压力。与其他压力测量方法相比，电容式压力传感器具有以下特点。

绝对压力测量

高精度・优秀的稳定性

不依赖于燃气种类的测量

特征

自己温調型で最小クラス

独自的电极结构实现了高精度和高稳定。

在包含隔膜的接触气体部分采用SUS316L

非加热、55℃温调、100℃温调可选

一键Re Zero

供給电源　±15VDC、24VDC 支持

CE、RoHS 对应

HORIBA的隔膜式真空计VG-200S是自我温度调节型中最小的。电极结构实现了高精度和高稳定性。

VG系列

自己温调型的最小等级是隔膜式真空计。电极结构实现了高精度和高稳定性。可以用于各种真空应用。

特征

自己温調型では最小クラス

独自的电极结构实现了高精度和高稳定。

采用具有优异耐食性的Ni合金作为隔膜

设定点输出（2点）

警报输出

专用软件进行设置点设置

一键Re Zero

供給电源　±15VDC、24VDC 支持

CE、RoHS 对应